武漢大學(xué)科研公共服務(wù)條件平臺(tái)聚焦離子束/電子束雙束電鏡(Helios 5 CX)已經(jīng)安裝完畢,即日起對(duì)校內(nèi)開(kāi)放試運(yùn)行,歡迎校內(nèi)師生預(yù)約測(cè)試!
一、基本參數(shù)
1、聚焦離子束/電子束雙束電鏡(Helios 5 CX)
主要技術(shù)參數(shù):
離子源種類(lèi)(液態(tài)Ga離子源)、交叉點(diǎn)分辨率(4.0nm@30kV(采用首選統(tǒng)計(jì)法),2.5nm@30kV(采用選邊法))、加速電壓范圍(500V-30kV)、束流強(qiáng)度范圍(1pA-100nA)。
電子槍類(lèi)型(肖特基場(chǎng)發(fā)射燈絲)、分辨率(最佳工作距離下:0.6nm@30kV STEM,0.6nm@15kV,0.9nm@1kV;交叉點(diǎn)分辨率:0.6nm@15kV,1.5nm@1kV)、交叉點(diǎn)工作距離(4-5nm)、加速電壓范圍(200V-30kV連續(xù)可調(diào))、束流強(qiáng)度范圍(0.8pA-176nA)。
樣品室(內(nèi)徑379mm)、樣品臺(tái)(五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái),X/Y方向移動(dòng)范圍110mm,Z方向移動(dòng)范圍65mm,R(旋轉(zhuǎn))=360°,T(傾斜)=-11°~+57°)。
2、附件配置:
冷凍傳輸系統(tǒng)(QUORUM PP3010):
電鏡內(nèi)冷臺(tái)溫度范圍(-190℃~室溫)、制備腔室冷臺(tái)溫度范圍(-190℃~+50℃)、冷凍腔室(溫度范圍+110℃至-185℃,可烘烤至+110℃,工作溫度范圍-15℃至-185℃)。
能譜儀(Oxford UltimMax170):
能量分辨率(Mn Kα保證優(yōu)于127eV@計(jì)數(shù)率130,000cps,F(xiàn) Kα保證優(yōu)于64eV@計(jì)數(shù)率130,000cps,C Kα保證優(yōu)于56eV@計(jì)數(shù)率130,000cps)、元素分析范圍(Be4-Cf98)。
陰極熒光系統(tǒng)(Gatan 450.P.WAR):
CCD讀譜探頭(探測(cè)范圍200-1100nm)、入口/出口狹縫可調(diào)范圍(0.01mm-10mm連續(xù)可調(diào))、光譜分辨率(<[email protected])、分光光柵(1200l/mm@500nm,尺寸69mm×69mm)
二、應(yīng)用領(lǐng)域
聚焦離子束/電子束雙束電鏡(Helios 5 CX)具有材料截面結(jié)構(gòu)表征、透射電鏡樣品制備、三維斷層掃描等功能。本臺(tái)電鏡配備獨(dú)立的冷凍傳輸系統(tǒng)、能譜儀、電子背散射衍射附件、陰極熒光系統(tǒng),可對(duì)不耐輻照樣品進(jìn)行冷凍斷裂、沉積導(dǎo)電層后,再進(jìn)行微觀(guān)結(jié)構(gòu)分析以減少輻照損傷,還可在室溫下進(jìn)行材料成分分析、物相鑒定、發(fā)光特性研究及缺陷雜質(zhì)檢測(cè)等。
三、送樣須知
1、送樣請(qǐng)至少提前一周預(yù)約,并說(shuō)明樣品類(lèi)型及實(shí)驗(yàn)條件。
2、冷凍掃描測(cè)試降溫及回溫需較長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定,至少預(yù)約一天機(jī)時(shí)。
預(yù)約請(qǐng)登錄:https://facility.whu.edu.cn/
地點(diǎn):武漢大學(xué)尖端科技樓101F
聯(lián)系人:胡老師 15623268602