武漢大學(xué)科研公共服務(wù)條件平臺(tái)變溫原位力學(xué)掃描系統(tǒng)已經(jīng)安裝完畢，即日起對(duì)校內(nèi)開(kāi)放試運(yùn)行，歡迎校內(nèi)師生預(yù)約測(cè)試！
一、基本參數(shù)
1、場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡電子光學(xué)系統(tǒng)（GeminiSEM360）
主要技術(shù)參數(shù)：
二次電子分辨率（0.7nm@15kV，1.2nm@1kV）、最大放大倍數(shù)（1,000,000X）、電子束加速電壓（0.02-30kV）、樣品室（358mm（Φ）×270mm（h））、樣品臺(tái)（五軸優(yōu)中心馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)X≥130mm，Y≥130mm，Z≥50mm，R（旋轉(zhuǎn)）＝360°，T（傾斜）＝-3°~+70°）。
2、附件配置：
原位臺(tái)力學(xué)加載模塊和升溫模塊：
最大載荷（5000N）、載荷分辨率（1N）、加載速率（0.55-30μm/s）、最大行程（20mm）、溫度范圍（室溫~800℃）、溫度調(diào)節(jié)精度（0.1℃）。
掃描電鏡內(nèi)集成原子力顯微鏡：
最大樣品尺寸（10mm×10mm×5mm）、分辨率（數(shù)字像素尺寸Z＜20pm）、AFM壓電陶瓷臺(tái)（XY行程15mm×15mm）、移動(dòng)精度（＜100nm）、掃描模式（接觸式、非接觸式、敲擊模式）、掃描范圍（20μm×20μm）。
掃描電鏡內(nèi)集成納米操縱儀（Kleindiek MM3A-EM）：
步進(jìn)精度（Z＜0.05nm，X＜0.5nm，Y＜0.5nm）、繞軸旋轉(zhuǎn)功能（同心旋轉(zhuǎn)同心度＜30μm，繞軸旋轉(zhuǎn)恢復(fù)精度＜0.02°）、移動(dòng)范圍（X/Y方向擺動(dòng)最大240°，Z軸延展最大距離可至12mm）、最大移動(dòng)速率（X/Y軸＝10mm/s，Z軸＝2mm/s）、閉環(huán)設(shè)計(jì)（重復(fù)精度＜2μm，可一鍵將操縱儀移至預(yù)設(shè)位置）。
能譜儀（Oxford UltimMax65）：
能量分辨率（Mn Kα保證優(yōu)于127eV@計(jì)數(shù)率130,000cps，F(xiàn) Kα保證優(yōu)于64eV@計(jì)數(shù)率130,000cps，C Kα保證優(yōu)于56eV@計(jì)數(shù)率130,000cps）、元素分析范圍（Be4～Cf98）。
二、應(yīng)用領(lǐng)域
變溫原位力學(xué)掃描系統(tǒng)基于GeminiSEM360型掃描電鏡，配備獨(dú)立的原位力學(xué)拉伸臺(tái)（配置加熱模塊）、EDS探頭/EBSD探頭、原子力顯微鏡、納米操縱儀。可在掃描電鏡中進(jìn)行力、熱聯(lián)合加載的同時(shí)，對(duì)樣品表面微觀(guān)結(jié)構(gòu)演變進(jìn)行實(shí)時(shí)觀(guān)測(cè)與分析，如自動(dòng)拍攝SEM圖像、自動(dòng)控制EDS/EBSD數(shù)據(jù)采集等。集成在掃描電鏡里的原子力顯微鏡可實(shí)現(xiàn)原位操縱AFM探針以獲取樣品表面結(jié)構(gòu)、力學(xué)、電學(xué)等性質(zhì)。適用于物理、材料、化學(xué)、微電子等多個(gè)學(xué)科領(lǐng)域的前沿研究。
三、送樣須知
1.送樣請(qǐng)至少提前一周預(yù)約，并說(shuō)明樣品類(lèi)型及實(shí)驗(yàn)條件。
2.變溫原位力學(xué)模塊裝卸需較長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定真空，一天至多測(cè)試兩個(gè)樣品。
3.AFM測(cè)試請(qǐng)?zhí)崆皽贤y(cè)試模式。
預(yù)約請(qǐng)登錄：https://facility.whu.edu.cn/
地點(diǎn)：武漢大學(xué)尖端科技樓101F
聯(lián)系人：胡老師 15623268602
